[发明专利]固化性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件在审
申请号: | 202180016937.6 | 申请日: | 2021-02-25 |
公开(公告)号: | CN115190891A | 公开(公告)日: | 2022-10-14 |
发明(设计)人: | 浅川大辅 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | C08F290/14 | 分类号: | C08F290/14;C08G73/10;C08K5/01;C08K5/05;C08L79/08;G03F7/037;G03F7/039 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 薛海蛟 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种固化性树脂组合物、将上述固化性树脂组合物固化而成的固化膜、包括上述固化膜的层叠体、上述固化膜的制造方法以及包括上述固化膜或上述层叠体的半导体器件,所述固化性树脂组合物包含:选自包含环状酰亚胺结构及环状异酰亚胺结构中的至少一种的聚酰亚胺前体、包含苯并噁唑结构的聚苯并噁唑前体以及包含环状酰亚胺结构及环状异酰亚胺结构中的至少一种的聚酰胺酰亚胺前体中的至少一种树脂;以及有机金属络合物,上述环状酰亚胺结构、上述环状异酰亚胺结构或上述苯并噁唑结构的含有摩尔量为特定的含量。 | ||
搜索关键词: | 固化 树脂 组合 层叠 制造 方法 半导体器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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