[发明专利]蒸镀掩模用框架、带框架蒸镀掩模以及蒸镀方法在审
| 申请号： | 202180025079.1 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN115349032A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 若林雅;野本将史 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H05B33/10;H01L51/50 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 谢辰 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种蒸镀掩模用框架，该蒸镀掩模用框架轻量并具有高刚性，且抑制脱气的产生。一个实施方式的蒸镀掩模用框架(50)具备构成为保持蒸镀掩模的框架主体(51)。框架主体是基材以及强化材料均由无机固体材料构成的复合材料。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模用 框架 蒸镀掩模 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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