[发明专利]微机电系统及其制造方法在审
| 申请号： | 202180025464.6 | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN115397767A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | S·莱梅特 | 申请（专利权）人： | 丽瑞德公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种微机电系统(10)的制造方法，其包括以下步骤：#在基板(13)上形成(30)机电元件(11)；#制备(31)封装包装(18)，以形成集成所述机电元件(11)的密封腔室(12)，所述密封腔室(12)具有小于10mm |
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| 搜索关键词： | 微机 系统 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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