[发明专利]脉冲喷射式流量调整装置、调整方法、以及程序在审
申请号: | 202180026240.7 | 申请日: | 2021-03-02 |
公开(公告)号: | CN115461693A | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 角谷宏树;西村康典 | 申请(专利权)人: | CKD株式会社 |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 桑传标 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在包括第一以及第二截止阀(11、13)、槽(12)、压力传感器(14)以及控制器(15)的脉冲喷射式流量调整装置(1),进行多次过程。控制器(15)在各过程中,重复使第一截止阀(11)和第二截止阀(13)交替进行开关动作的脉冲喷射,基于填充后压力(P1)和喷出后压力(P2)的压差(ΔP)而改变脉冲喷射的方式,调整体积流量(QA)(S503‑S531、S537)。控制器(15)在各过程中,在将体积流量(QA)调整至目标流量(Q)时将填充时间(t1)作为最佳填充时间(tx)而存储(S533),在下一个过程的最初的脉冲喷射中使用最佳填充时间(tx)而开关第一截流阀11(S505)。 | ||
搜索关键词: | 脉冲 喷射式 流量 调整 装置 方法 以及 程序 | ||
【主权项】:
暂无信息
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