[发明专利]结构体的制造方法及结构体在审
申请号: | 202180031425.7 | 申请日: | 2021-04-26 |
公开(公告)号: | CN115486211A | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
发明(设计)人: | 汉那慎一 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | H05K3/18 | 分类号: | H05K3/18;G03F7/004;G03F7/027;G06F3/041 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 薛海蛟 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种结构体的制造方法及结构体,该结构体的制造方法包括:准备层叠体的工序,该层叠体具有:透明基材、配置于上述透明基材上的遮光性图案1以及配置于上述透明基材和上述遮光性图案上并且与上述透明基材接触的负型感光性树脂层N;从上述透明基材的与设置有上述遮光性图案1的面相反一侧的面向上述负型感光性树脂层N的一部分照射光的工序;通过对被照射光的上述负型感光性树脂层N进行显影,在上述透明基材上形成树脂图案2的工序;以及在由上述遮光性图案1及上述树脂图案2划定的区域形成图案3的工序,所获得的结构体具有上述树脂图案2作为永久膜。 | ||
搜索关键词: | 结构 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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