[发明专利]光扫描装置、对象物识别装置以及光扫描方法在审
| 申请号： | 202180032902.1 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN115552313A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 芦田雄树 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G01S7/491;G01S17/34;G02B26/08 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋晓宝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的空间相位调制元件22为通过使条片221位移来对光执行相位调制的所谓的光栅光阀。若使测量光束Lm(测量光)入射至该空间相位调制元件22，则测量光束Lm向与条片221的位移方式相对应的方向射出。即，能够通过控制条片221的位移方式，变更射出测量光束Lm的方向，来对对象物J扫描测量光束Lm。此时，通过空间相位调制元件22执行相位调制后的测量光束Lm成形为直线状后被投影至对象物J。即，将直线状的测量光束Lm对对象物J扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 装置 对象 识别 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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