[发明专利]使用增强偏转器操纵带电粒子束的装置在审
| 申请号： | 202180032940.7 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN115485804A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 王勇新;董仲华;季晓宇;沙赫杜尔·霍克;任伟明;刘学东;叶国凡;简国晋 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种装置包括被定位在第一层中、被配置为影响带电粒子束的第一带电粒子束操纵器和被定位在第二层中、被配置为影响带电粒子束的第二带电粒子束操纵器。第一带电粒子束操纵器和第二带电粒子束操纵器各自可以包括具有第一组相对电极和第二组相对电极的多个电极。电连接到第一组的第一驱动器系统可以被配置为向第一组提供多个离散输出状态。电连接到第二组的第二驱动器系统可以被配置为向第二组提供多个离散输出状态。第一带电粒子束操纵器和第二带电粒子束操纵器各自可以包括多个段；以及控制器，具有被配置为个体地控制多个段中的每段的操作的电路系统。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 增强 偏转 操纵 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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