[发明专利]压电器件在审
| 申请号： | 202180039210.X | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN115668770A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 茶谷宗人 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H10N30/87;H10N30/853;H10N30/045;H10N30/06 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 欧淑丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 层叠部(120)至少在开口部(113)的上方包括第一单晶压电体层(130)、第二单晶压电体层(140)、中间电极层(150)、下部电极层(160)和上部电极层(170)。第一单晶压电体层(130)由在极化电荷的正侧和负侧产生蚀刻速率差的材料构成。第一单晶压电体层(130)的极化电荷在中间电极层(150)侧为正，在下部电极层(160)侧为负。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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