[发明专利]基于失效率的过程窗口在审
| 申请号： | 202180046736.0 | 申请日： | 2021-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN115735162A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 蒋爱琴;苏达沙南·拉格纳坦;吉尔·伊丽莎白·弗里曼;王富明;严飞 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 毕杨 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本文中描述一种用于基于失效率来确定图案化过程的过程窗口的方法。所述方法包括：(a)获得被印制于衬底上的多个特征；(b)基于指标将所述特征分组为多个组；和(c)基于与特征组相关联的测量数据来产生所述特征组的基础失效率模型，其中，所述基础失效率模型识别与所述特征组的所述失效率相关的所述过程窗口。所述方法还包括使用所述基础失效率模型产生用于特定特征的特定于特征的失效率模型，其中，所述特定于特征的失效率模型识别特定于特征的过程窗口，使得所述特定特征的估计失效率低于指定阈值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 失效 过程 窗口 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202180046736.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
