[发明专利]压力传感器元件、压力传感器模块及其信号校正方法在审
| 申请号： | 202180048158.4 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN115803598A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 杉林英明 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;严美善 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种对电极间的静电电容的变化进行探测的压力传感器元件。压力传感器元件(1)具备电绝缘性的基板(10)、基底电极层(20)、间隔部(30、31)、保护电极层(30A)以及膜板(40)等。作为传感电极部的传感电极(S)及作为监视电极部的监视电极(M1～M4)以与基板(10)相向的方式设置于膜板(40)。监视电极(M1～M4)在被安装到电路基板的情况下对在间隔部(30、31)产生的应力应变进行探测。根据这样的结构，即使是在安装到电路基板之后也能够实现高测定精度。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 元件 模块 及其 信号 校正 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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