[发明专利]用于电子衍射图样分析的改进相机在审
| 申请号： | 202180048196.X | 申请日： | 2021-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN115885171A | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·马斯特斯;安格斯·比伊克;彼得·斯泰瑟姆 | 申请（专利权）人： | 牛津仪器纳米技术工具有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/203 | 分类号： | G01N23/203 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张珂珂;朱雯 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种检测菊池衍射图的装置。该装置包括：电子柱，其适于在使用中提供指向样品的电子束，所述电子束具有在2keV至50keV范围内的能量，以及；成像探测器，用于接收和计数由于电子束与样品的相互作用而来自样品的电子，探测器包括像素阵列并且对于每个像素具有每秒至少2000个电子的计数率能力，其中：成像探测器适于提供接收电子的电子能量滤波，以便对代表所述衍射图样的接收电子进行计数，并且粒子探测器在电子朝向探测器的有源区进入的表面上具有惰性层，其中惰性层分散20keV入射电子的检测能量，该20keV入射电子具有小于3.2keV的半峰全宽的能散。还提供了一种检测菊池衍射图的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子衍射 图样 分析 改进 相机 | ||
【主权项】：
暂无信息
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