[发明专利]具有基于功率的宽限控制的电镀控制器在审
| 申请号： | 202180050411.X | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN115956145A | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 米卡尔·R·博杰森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C25D21/12 | 分类号： | C25D21/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种控制电镀系统的晶体管级的宽限电压以维持跨所述晶体管级的目标功率耗散的方法可以包括针对所述电镀系统中的负载维持所述晶体管级中的宽限电压。所述方法也可以包括：测量所述晶体管级中的瞬时功率耗散；及产生代表所述晶体管级中的所述瞬时功率耗散与所述晶体管级中的所述目标功率耗散之间的差异的差异输出。然后，可以使用所述差异输出来调整跨所述晶体管级及所述负载的电压，使得所述晶体管级中的所述宽限电压被调整以维持所述晶体管级中的所述目标功率耗散。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 基于 功率 宽限 控制 电镀 控制器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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