[发明专利]三甲硅烷基胺的制造装置及制造方法在审

专利信息
申请号: 202180056956.1 申请日: 2021-07-27
公开(公告)号: CN116171258A 公开(公告)日: 2023-05-26
发明(设计)人: 李胤植;金秀镇;权三奉;朴宰省;金泰淳 申请(专利权)人: 愛思开新材料有限公司
主分类号: C01B21/068 分类号: C01B21/068
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 郑天松
地址: 韩国庆*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的三甲硅烷基胺的制造装置包括:反应器,其中发生三甲硅烷基胺的合成反应;反应原料供应配管,其向所述反应器供应反应原料;三甲硅烷基胺排放配管,其从所述反应器排放三甲硅烷基胺;反应器加热单元,其用于加热所述反应器的反应空间;以及气体相副产物排放配管,其从所述反应器排放气体相副产物,其中,所述反应器的反应空间维持在低于在所述合成反应中产生的反应副产物的分解温度的温度,所述反应器加热单元在三甲硅烷基胺通过所述三甲硅烷基胺排放配管排放后,将所述反应器的反应空间加热至高于或等于所述分解温度的温度,并且所述气体相副产物排放配管排放包括由所述反应器加热单元热分解的所述反应副产物的热分解产物的气体相副产物。
搜索关键词: 硅烷 制造 装置 方法
【主权项】:
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