[发明专利]用于产生宽带辐射的方法以及相关联的宽带源和量测装置在审
| 申请号： | 202180057688.5 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN116113874A | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 倪永锋 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/365 | 分类号： | G02F1/365 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 披露了一种产生宽带输出辐射的方法和相关联的宽带辐射源。所述方法包括：产生输入辐射的脉冲，所述脉冲具有在50fs至400fs的范围内的持续时间且具有小于60fs的上升时间；和利用用输入辐射的所述脉冲来激励中空芯部光纤内的工作介质。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 宽带 辐射 方法 以及 相关 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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