[发明专利]具有递归式气体通道的喷头组件在审
| 申请号： | 202180062268.6 | 申请日： | 2021-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN116057664A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | R·T·若林;C·黄;T·J·富兰克林 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 付尉琳;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文提供喷头的实施例。在一些实施例中，喷头组件包括：冷硬板，具有多个递归式气体路径以及设置于其中的一个或多个冷却通道，其中多个递归式气体路径中的每一个流体地耦接至延伸至冷硬板的第一侧的单个气体入口和延伸至冷硬板的第二侧的多个气体出口；以及加热器板，耦接至冷硬板，其中加热器板包括从加热器板顶表面延伸至设置于加热器板内的多个气室的多个第一气体分布孔，多个第一气体分布孔对应于冷硬板的多个气体出口，以及从多个气室延伸至加热器板下表面的多个第二气体分布孔。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 递归 气体 通道 喷头 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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