[发明专利]延迟时间测量方法和系统在审
| 申请号： | 202180062283.0 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN116057392A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | B·H·高利;J·F·M·范伦斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/305 | 分类号： | G01R31/305 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁;杨飞 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种测量信号在电路结构中的线路中传播的延迟时间的方法，该方法包括：通过带电粒子射束的脉冲来辐照线路，其中带电粒子射束的脉冲的脉冲重复频率是变化的。该方法还包括：对于脉冲重复频率中的每个脉冲重复频率，响应于通过带电粒子射束的脉冲以相应脉冲重复频率来辐照线路，测量次级带电粒子发射；并且响应于脉冲重复频率的变化，基于次级带电粒子发射来导出线路的延迟时间。 | ||
| 搜索关键词： | 延迟时间 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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