[发明专利]用于提高寿命的低轮廓沉积环在审
| 申请号： | 202180066087.0 | 申请日： | 2021-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN116324015A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | K·N·萨万戴安;宋佼;D·冈瑟;I·H·怀索克;A·C-T·陈 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本文提供了用于在处理腔室中使用的沉积环的实施例。在一些实施例中，一种沉积环包括：环状主体；内壁，所述内壁从环状主体的内部部分向上延伸；以及外壁，所述外壁从环状主体的外部部分向上延伸，以在内壁与外壁之间限定大沉积腔体，其中大沉积腔体的宽度为约0.35英寸至约0.60英寸，其中外壁包括外凸架和相对于外凸架抬升的内凸架。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 提高 寿命 轮廓 沉积 | ||
【主权项】：
暂无信息
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