[发明专利]具有高纯度输送气体的吸附型储运容器和相关方法在审
| 申请号： | 202180072113.0 | 申请日： | 2021-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN116391090A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | J·R·德斯普雷斯;J·斯威尼;E·A·斯特姆 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | F17C11/00 | 分类号： | F17C11/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述储存和分配系统和相关方法，其用于储存和从容器选择性分配试剂气体锗烷，在所述容器中所述试剂气体保持与储存容器的内部的固体吸附介质呈吸附关系，且其中所述方法和分配系统提供所述试剂气体从所述储存容器的分配，其中在所分配试剂气体中含有含量减少的大气杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 纯度 输送 气体 吸附 储运 容器 相关 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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