[发明专利]高吞吐量的光学计量在审
| 申请号： | 202180073458.8 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN116368347A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 尹戈尔·蒂罗韦斯;希蒙·亚洛夫;亚历克斯·希施曼;米沙·马图索夫斯基;沙哈尔·帕兹 | 申请（专利权）人： | 诺威有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01N21/25 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 刘梅 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种对样品进行光学计量的方法，该方法可包括在样品的变速移动期间，通过不同波长的多组脉冲照射样品的区域；收集作为照射的结果而从样品反射的光以提供多组帧，每组帧包括与不同波长相关联的部分重叠的多个帧；以及处理这些帧以提供光学计量结果，该光学计量结果指示样品区域的元素的一个或多个评估参数；其中，处理基于该多组帧与通过其他光学计量过程获取的参考测量值之间的映射，该其他光学计量过程展现出的光谱分辨率高于通过照射和收集所获取的光谱分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 吞吐量 光学 计量 | ||
【主权项】：
暂无信息
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