[发明专利]氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物和使用了氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物的研磨方法在审
| 申请号： | 202180079560.9 | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN116615306A | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 祖父江智之 | 申请（专利权）人： | 山口精研工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 龚敏;王刚 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种具有高研磨速度、能够作为氧化铈系研磨剂的代替来研磨氟磷酸盐玻璃的氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物。氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物含有二氧化硅、水溶性高分子化合物、酸和/或其盐以及水，pH(25℃)的值为1.0～9.0的范围。进而，上述二氧化硅为胶体二氧化硅，平均粒径(D50)为10nm～200nm的范围，另外，作为水溶性高分子化合物，可以使用多糖类、和/或具有来自不饱和酰胺的结构单元的聚合物。 | ||
| 搜索关键词： | 磷酸盐 玻璃 研磨剂 组合 使用 研磨 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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