[发明专利]具有接近传感器的研磨/抛光系统和方法在审
| 申请号： | 202180083594.5 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN116568458A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 罗兰·谢弗;安德鲁·诺克姆 | 申请（专利权）人： | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/12 | 分类号： | B24B49/12 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 殷澄 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种示例性研磨机/抛光机系统包括：样本固持器，该样本固持器被配置成固定样本；台板；致动器，该致动器被配置成移动该样本固持器和该台板中的至少一者；传感器，该传感器被配置成检测该传感器的视野内的物体；以及控制器，该控制器被配置成控制该致动器的移动，并且在该致动器移动时响应于该传感器检测到物体而停止该致动器。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 接近 传感器 研磨 抛光 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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