[发明专利]光学装置计量系统与相关方法在审
| 申请号： | 202180083988.0 | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN116615676A | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 傅晋欣;大东和也;卢多维克•戈代 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种光学装置计量方法。该方法包括：在第一时间段期间将第一类光提供至第一光学装置中；在第一时间段期间测量从顶表面或底表面上的第一位置透射的第一类光的量；在发生于第一时间段之后的第二时间段期间用光学吸收材料的第一涂层涂布一或多个边缘中的一边缘的至少一部分；在发生于第二时间段之后的第三时间段期间将第一类光提供至第一光学装置中；及在第三时间段期间测量从顶表面或底表面上的第一位置透射的第一类光的量。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 装置 计量 系统 相关 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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