[发明专利]聚合性化合物、活性能量射线固化性树脂组合物、固化物、抗蚀剂用组合物和抗蚀膜在审
| 申请号： | 202180084130.6 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN116670184A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 今田知之;长江教夫 | 申请（专利权）人： | DIC株式会社 |
| 主分类号： | C08F12/34 | 分类号： | C08F12/34 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李恩华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供：对微细空间的浸润性优异、且光学特性、耐蚀刻性、固化性、溶剂溶解性等也优异，从而可以用于经超微细化的布线图案形成的聚合性化合物。具体而言为下述通式(1)所示的聚合性化合物。 |
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| 搜索关键词： | 聚合 化合物 活性 能量 射线 固化 树脂 组合 抗蚀剂用 抗蚀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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