[发明专利]研磨用组合物及使用其的研磨方法在审
申请号: | 202180084883.7 | 申请日: | 2021-11-10 |
公开(公告)号: | CN116583379A | 公开(公告)日: | 2023-08-11 |
发明(设计)人: | 若林谅 | 申请(专利权)人: | 福吉米株式会社 |
主分类号: | B24B37/00 | 分类号: | B24B37/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李恩华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种在包含树脂和填料的研磨对象物的研磨中用于维持高的研磨速度并且降低表面粗糙度(Ra)的手段。本发明的研磨用组合物用于含有树脂和填料的研磨对象物的研磨,其包含氧化铝颗粒、胶体二氧化硅颗粒和分散介质,所述氧化铝颗粒的平均粒径小于2.8μm,所述胶体二氧化硅颗粒的平均粒径比所述氧化铝颗粒的平均粒径小。 | ||
搜索关键词: | 研磨 组合 使用 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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