[发明专利]用于光学系统调焦调平的检测装置及方法在审
| 申请号： | 202210000822.4 | 申请日： | 2022-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN114383822A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 苏佳妮;卢增雄;齐月静;李璟;高斌;陈进新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G02B27/62 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李世阳 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种用于光学系统调焦调平的检测装置，该检测装置沿光路方向依次包括：光源、第一PBS棱镜、1/4波片、测试板、1/2波片、分光棱镜和探测器；其中，光源发射的S偏振光被第一PBS棱镜反射至1/4波片，1/4波片将S偏振光转变为圆偏振光，圆偏振光透过待测光学系统，被测试板反射，再次透过待测光学系统返回进入1/4波片，1/4波片将圆偏振光转变为P偏振光；P偏振光透过第一PBS棱镜进入1/2波片，被1/2波片调整偏振方向后进入分光棱镜；分光棱镜的上半部和下半部分别将调整偏振方向后的P偏振光进行多次反射后于同一出光面输出；探测器检测上半部和下半部输出光的位置，并根据该位置对待测光学系统进行调平。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光学系统 调焦 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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