[发明专利]一种高纯硝酸的连续生产方法有效
| 申请号： | 202210003433.7 | 申请日： | 2022-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN114014282B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 王涛;王升高;徐慢;熊礼威;王箫;张雪梅 | 申请（专利权）人： | 苏州香榭轩表面工程技术咨询有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/46 | 分类号： | C01B21/46 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 汪青;向亚兰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高纯硝酸的连续生产方法，该生产方法为采用循环载气方法进行提纯工业硝酸，该循环载气方法为利用不同温度下硝酸的饱和蒸汽压不同，将载气气体鼓入硝酸物料中，获得硝酸饱和的混合气，而后在换热器中降温，实现硝酸的过饱和析出，进而实现硝酸物料的传输与提纯工作，载气气体在工艺中循环使用。采用本发明工艺制备的超高纯硝酸各单项金属离子含量低于10ppt，除硝酸根外，各单项阴离子小于50ppb。与已有方法相比，本发明工艺和设备简单，生产效率高，产品质量稳定，能耗低，产品满足甚至超过SEMI C12标准的要求，可用于高集成度芯片的清洗和刻蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 硝酸 连续生产 方法 | ||
【主权项】：
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