[发明专利]基板处理装置有效
| 申请号： | 202210005576.1 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN114229474B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 鬼头义昭;加藤正纪;奈良圭;堀正和;木内徹 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65H20/02;B65H23/188;B65H26/00;G03F7/20;G03F7/24;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙乳笋;董骁毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种将长条的片状基板于长条方向上搬送并对片状基板实施既定的处理的基板处理装置，且设置有：处理机构，其对片状基板的长条方向的每一部分实施既定的处理；搬送机构，其一面对通过处理机构的片状基板赋予既定的张力，一面将片状基板按照既定速度于长条方向上搬送；卡留机构，其配置于片状基板的搬送路径中的既定位置，且能够将片状基板卡留于既定位置；以及控制装置，其于暂时停止片状基板的搬送的情形时，以使片状基板的搬送速度降低的方式控制搬送机构，并且以于搬送速度成为既定值以下的时点将片状基板卡留于既定位置的方式控制卡留机构。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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