[发明专利]一种基于半导体器件加工的绝缘层刻蚀装置有效
| 申请号： | 202210006286.9 | 申请日： | 2022-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN114300396B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 管章永;王浩元;刘爱桃;胡石磊 | 申请（专利权）人： | 郯城宏创高科技电子产业园有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 山东诺诚智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 37309 | 代理人： | 佘莉芳 |
| 地址： | 276100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于半导体器件加工的绝缘层刻蚀装置，涉及半导体加工技术领域，解决了现有装置不便于使真空腔内部刻蚀剂快速均匀分散的问题；包括磁块A、内凹槽，磁块A固定连接于齿环顶部，内凹槽数量设置为二组，其固定连接于底凸仓内侧顶部与底部；所述温度混合结构还包括混合转轮，混合转轮通过滑动连接设置有内凹槽内侧；通过磁力吸附可以使磁块A带动底凸仓内侧的磁块B进行同步转动，使混合转轮进行同步转动，通过其内曲侧面的斜翅对真空腔内部的雾化后的刻蚀酸剂进行搅动，可以使真空腔内部加热时，使其内部雾化的刻蚀剂雾滴热流快速均匀混合分散，可以使雾化的刻蚀剂均匀散落在晶圆表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 半导体器件 加工 绝缘 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
