[发明专利]一种晶圆脱环机有效
| 申请号： | 202210009611.7 | 申请日： | 2022-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN114274387B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 袁慧珠;张明明;刘宏文;吴洪柏;石文;徐双双 | 申请（专利权）人： | 沈阳和研科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司： | 沈阳易通专利事务所 21116 | 代理人： | 于丽丽 |
| 地址： | 110000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于晶圆加工设备技术领域，特别提供了一种晶圆脱环机。其主要包括机体框架、供电及负压组件、纵向移动模组、主升降模组、吸盘、操作臂、升降台；其中，操作臂包括托架、直驱电机、导轨、滑块、校准定位块、丝杠电机、伸缩机构、脱环滚轮、直角支架。本设备将晶圆与升降台的同心度校准机构和晶圆外环脱环机构集成于一个操作臂上，解决晶圆与脱环结构不同心导致高概率破片情况；主升降模组统一调整多个校准定位块的高度；在脱环机整个工作流程中，仅工件的取放和定期清理废料工作需要操作人员手动完成，其余操作设备均可自动完成。整机自动化程度高，降低人为误操作风险的同时降低人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆脱环机 | ||
【主权项】：
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