[发明专利]一种投片计划仿真方法、设备及系统在审
| 申请号： | 202210012710.0 | 申请日： | 2022-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN114239440A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 王晓;宁泽宇;朱志翔 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/30 | 分类号： | G06F30/30;G06F30/20;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 孙小明 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种投片计划仿真方法、设备及系统。其中，投片计划仿真方法包括：获取待仿真的晶圆投片计划的投产信息；根据所述投产信息和在制品信息，得到晶圆生产信息；若监测到系统运行时间达到所述晶圆生产信息中任一所述计划投片时间，则将所述晶圆生产信息中与所述任一所述计划投片时间相对应的目标未投产批次的状态信息修改为所述空闲状态，以及根据接收到与所述目标未投产批次对应的生产指令，将所述目标未投产批次的所述状态信息由所述空闲状态修改为所述生产状态。该方法可以对投片计划进行模拟，能够防止投片计划直接应用到生产线而出现不可预知的风险，持续稳定地提升整体生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 计划 仿真 方法 设备 系统 | ||
【主权项】：
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