[发明专利]被加工物的磨削方法在审
| 申请号： | 202210016768.2 | 申请日： | 2022-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN114789371A | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 宫本弘树 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/06;B24B47/04;B24B47/22;B24B51/00;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;杨俊波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供被加工物的磨削方法，抑制加工效率降低并改善磨削磨具的状况。该磨削方法使用磨削装置对被加工物进行磨削，磨削装置具有：卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面，沿着与保持面垂直的方向设定有旋转轴；和磨削单元，其安装有包含磨削磨具的磨削磨轮，利用磨削磨具对被加工物进行磨削，该被加工物的磨削方法包含如下的步骤：第1磨削步骤，一边使磨削磨轮旋转一边使卡盘工作台和磨削单元沿着与保持面平行的方向相对地移动，利用磨削磨具对被加工物从一端侧至另一端侧进行磨削；和第2磨削步骤，一边使卡盘工作台和磨削磨轮旋转一边使卡盘工作台和磨削单元沿着与保持面垂直的方向相对地移动，利用磨削磨具对被加工物进行磨削。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 磨削 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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