[发明专利]一种仿真控制方法、设备及系统在审
| 申请号： | 202210019979.1 | 申请日： | 2022-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN114169270A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 王晓 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/30 | 分类号： | G06F30/30;G06F30/20;G06F115/12;G06F111/10 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 孙小明 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种仿真控制方法、设备及系统。其中，仿真控制方法包括：建立基准时间序列和晶圆生产列表；基准时间序列包括顺序排列的多个时间元素；任意两个相邻的时间元素的时间差为第一预设时长阈值；晶圆生产列表包括顺次排列的多个已投产批次的生产信息；每间隔第二预设时长阈值，按照时间先后顺序从基准时间序列中获取一个时间元素，并基于从基准时间序列中获取的时间元素，确定即时模拟时间；对任一确定的即时模拟时间，在下次重新确定之前执行以下步骤：将即时模拟时间与晶圆生产列表中的各个宣告时间逐一比较，并根据比较的结果，控制与宣告时间对应的已投产批次的投产状态的循环切换。该方法能够实现对半导体生产仿真进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 仿真 控制 方法 设备 系统 | ||
【主权项】：
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