[发明专利]研磨头承载装置、研磨装置和研磨站有效
| 申请号： | 202210023341.5 | 申请日： | 2022-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN114029855B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 刘晓刚;朱勇;刘培培;方昕 | 申请（专利权）人： | 合肥微睿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/12 | 分类号： | B24B37/12;B24B37/34;B24B57/02;B24B45/00;B24B27/00;B25J11/00 |
| 代理公司： | 安徽知问律师事务所 34134 | 代理人： | 王亚军 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及研磨技术领域，公开一种研磨头承载装置、研磨装置和研磨站。该研磨头承载装置包括板面相对布置的安装板和承载板以及连接在安装板和承载板之间的弹性支撑结构，弹性支撑结构将安装板和承载板之间保持设定间距，其中，安装板包括用于安装能够提供偏心转动的驱动装置的驱动装置安装部；承载板包括用于安装背向安装板的研磨头的研磨头安装部，并且承载板设置有用于与驱动装置的转动轴上的偏心柱配合的偏心结构；其中，弹性支撑结构配置为允许承载板能够相对于安装板摆动。该研磨头承载装置能够在提升研磨效果的同时，提升研磨效率，降低研磨成本。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 承载 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥微睿光电科技有限公司，未经合肥微睿光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210023341.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
