[发明专利]一种蓝宝石衬底制作方法在审
| 申请号： | 202210023998.1 | 申请日： | 2022-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN114068773A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 吴琼琼;张丙权;崔思远;金从龙 | 申请（专利权）人： | 江西兆驰半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150 | 代理人： | 刘红伟 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蓝宝石衬底制作方法，一种蓝宝石衬底制作方法，方法包括：获取线切后清洗完成的晶片，并将线切后清洗完成的晶片进行退火前清洗，再对晶片进行退火处理；根据晶片规格数据，对退火处理后的晶片进行线切后分规处理，并对分规处理后的晶片进行筛选，得到筛选后的第一规格晶片；对第一规格晶片进行倒角，获得蓝宝石衬底。上述蓝宝石衬底制作方法，通过将线切割后的晶片，根据晶片规格数据进行检测，得到第一规格晶片，将第一规格晶片进行倒角，通过倒角后的晶片获得蓝宝石衬底，无需经过双面研磨，简化了制作工艺流程，解决了现有技术中多线切割后产品需要全部经过双面研磨后才可进行之后的生产工序，导致单片生产成本高的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 制作方法 | ||
【主权项】：
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