[发明专利]一种能量标定模块及标定方法在审
| 申请号： | 202210031741.0 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114509920A | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 周黎;胥涛棚;董昱君;张雷 | 申请（专利权）人： | 源纳微光学科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种能量标定模块，用于对直写式光刻机的曝光镜头进行能量标定，包括能量感测单元，配置为感应多个曝光镜头出射的光能量的大小而输出感测电流，比较单元，配置为对能量感测单元输出的感测电流进行比较并输出比较结果；开关单元，与能量感测单元对应设置，配置为接通或断开能量感测单元与比较单元的电性连接；控制器单元，配置为控制开关单元导通或断开，以及根据比较单元的比较结果调节多个曝光镜头出射的光能量。本发明通过使用能量感测单元将光能量转化为感测电流，并通过比较单元实时比较感测电流，从而调节待标定曝光镜头出射的光能量以达到基准曝光镜头出射的光能量，能量一致性更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能量 标定 模块 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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