[发明专利]保持部件、上部电极组件以及等离子体处理装置在审
| 申请号： | 202210032768.1 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114823267A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 佐藤诚人;氏家智也;仙田孝博 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种保持部件、上部电极组件以及等离子体处理装置，其能够将电极板悬挂保持于保持板。该保持部件在将电极板保持于保持板时使用，包括：第一部件，其具有轴部和卡定部，该轴部具有内螺纹部，该卡定部与上述轴部相比扩大形成；以及第二部件，其具有在一个方向延伸的长孔部，上述轴部穿过该长孔部上述第一部件构成为能够相对于上述第二部件进行滑动。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 部件 上部 电极 组件 以及 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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