[发明专利]反射镜装调系统及装调方法在审
申请号: | 202210039592.2 | 申请日: | 2022-01-14 |
公开(公告)号: | CN114459608A | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 尤宏波;阚博涵;曹景华;彭燕鸿;张大为;郝利民 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
主分类号: | G01J5/08 | 分类号: | G01J5/08;G01J5/0813;G02B7/198 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人: | 华枫 |
地址: | 100015*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提出了一种反射镜装调系统及装调方法,装调系统包括:平板玻璃组件、平面反射镜组件及测量设备,沿光的传播方向,平板玻璃组件位于待装调反射镜的上游,平面反射镜组件位于待装调反射镜的下游;测量设备用于发射检测光,检测光经平板玻璃组件传递至待装调反射镜,检测光经待装调反射镜的反射光传递至平面反射镜组件,反射光经平面发射镜组件、待装调反射镜反射后,经平板玻璃组件返回至测量设备;根据测量设备接收的反射光得到测量值,通过比较测量值与设计值,对待装调反射镜的角度和距离进行调整,至测量值达到设计值。本发明摒弃了接触式的顶针测量法使用了无接触式测量,减少了镜片损伤的风险,且具有高精度装调特性。 | ||
搜索关键词: | 反射 镜装调 系统 方法 | ||
【主权项】:
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