[发明专利]芯片突变电压测试方法、装置及存储介质有效
申请号: | 202210046262.6 | 申请日: | 2022-01-17 |
公开(公告)号: | CN114062905B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 史云龙;詹冰冰;孟宪伟;沈丹江 | 申请(专利权)人: | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R19/00 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 成亚婷 |
地址: | 312000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种芯片突变电压测试方法、装置及存储介质,芯片突变电压测试方法包括:获取预设标准芯片的电容突变相关值,电容突变相关值为以预设扫描步长扫描预设标准芯片获取;获取测试芯片的预设总步数;根据所述电容突变相关值和所述预设总步数采用预设算法,确定测试芯片的突变电压值。相较于传统逐次扫描电压的方式,测试过程简单,极大降低扫描次数,缩小测试时间,大幅度提高芯片突变电压的测试效率,甚至可以更快的测试整卡lot的良率,适用于大规模量产,且适用于所述MEMS测突变电容产品。 | ||
搜索关键词: | 芯片 突变 电压 测试 方法 装置 存储 介质 | ||
【主权项】:
暂无信息
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