[发明专利]一种大尺寸钼靶材及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202210053774.5 | 申请日： | 2022-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN114411103A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;郭红波;李伟;王林生;吴庆勇 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰钨钼材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/04;B22F3/18;B22F3/10;B22F5/00;B22F3/24 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 韩承志 |
| 地址： | 315460 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种大尺寸钼靶材及其制备方法与应用，所述制备包括依次进行的高纯钼粉装模、冷等静压、烧结、热轧、校平、热处理、机械加工、清洁包装，进而制备得到所述大尺寸钼靶材；其中，所述热轧采取阶段热轧法进行，具体包括依次进行的第一热轧处理、第二热轧处理以及第三热轧处理。本发明提供的大尺寸钼靶材的制备方法简单，可操作性强；制备得到的大尺寸钼靶材实现了晶粒的多样性控制，满足不同的溅射要求；也可以实现大尺寸高世代线靶材的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 钼靶材 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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