[发明专利]一种浅刻蚀多模干涉耦合的多通道平顶型波分复用接收器有效
| 申请号： | 202210054062.5 | 申请日： | 2022-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN114637072B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 戴道锌;贺江豪;刘大建;朱明愚 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种浅刻蚀多模干涉耦合的多通道平顶型波分复用接收器。输入波导一端和锥形输入波导较窄的一端相连，锥形输入波导较宽的一端和浅刻蚀多模干涉耦合器结构的输入端相连，由输入波导和锥形输入波导构成光波收集单元；各条锥形输出波导较宽的一端和浅刻蚀多模干涉耦合器结构的输出端相连，锥形输出波导较窄的一端与各自的输出波导一端相连，由浅刻蚀多模干涉耦合器结构和各条多模的锥形输出波导成解复用单元；各条输出波导另一端与n个相同的探测器相连，由各条输出波导和n个探测器构成光波探测单元。本发明实现了低插损、低串扰且各通道均有平顶响应的多通道波分复用接收器，具有与CMOS工艺兼容、工艺简单，结构简单、大容差等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 干涉 耦合 通道 平顶 型波分复用 接收器 | ||
【主权项】：
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