[发明专利]激光照射装置在审
| 申请号： | 202210054870.1 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN114393295A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 今村博亮;藤贵洋;山口芳広 | 申请（专利权）人： | 株式会社日本制钢所 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;H01L21/268;H01L21/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 田婷 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种激光照射装置，包括：一激光生成装置，用于生成待施加于处理对象的激光；一浮起单元，用于浮起所述处理对象；一保持机构，用于通过将所述处理对象吸附于一吸附表面上而保持所述处理对象；以及一移动机构，用于移动所述保持机构，其中，所述保持机构的所述吸附表面由在一平面视角下具有相同形状的多个吸附区域形成，所述多个吸附区域中的每一个包括：在所述平面视角下具有直线形状的第一凹槽以及与所述第一凹槽交叉的第二凹槽；第三凹槽，所述第三凹槽连接所述第一和第二凹槽中的每一个的一端并且在所述平面视角下具有直线形状；以及第四凹槽，所述第四凹槽连接所述第一和第二凹槽中的每一个的另一端并且在所述平面视角下具有直线形状。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 照射 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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