[发明专利]NOx传感器的传感器元件及NOx传感器的传感器元件的制造方法

摘要

本发明提供NOx传感器的传感器元件及NOx传感器的传感器元件的制造方法，其课题在于，抑制由测定电极的氧化所引起的NOx传感器的灵敏度降低。传感器元件具备：基体部，其以氧离子传导型的固体电解质为构成材料；至少1个内部空腔，其供被测定气体导入；至少1个泵单元，其构成为包括面对至少1个内部空腔而配置的内部电极、在至少1个内部空腔以外的部位所配置的空腔外泵电极、以及基体部中的存在于两个电极之间的部分，内部电极具备上侧层和下侧层，该上侧层包括贵金属、固体电解质以及气孔，该下侧层包括贵金属及固体电解质，下侧层中的固体电解质的体积比大于上侧层中的固体电解质的体积比。