[发明专利]柱面镜的CGH补偿绝对检验方法在审
| 申请号： | 202210060815.3 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN114562954A | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 陈善勇;戴一帆;翟德德;刘俊峰;熊玉朋;彭小强 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/023 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 黄丽 |
| 地址： | 410073 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柱面镜的CGH补偿绝对检验方法，该方法先通过带有标准平面镜头的平面波干涉仪和CGH补偿器对柱面镜的共焦位置进行零位检测，得到检测结果W1，之后绕平行于柱面镜的轴线方向前后翻转CGH补偿器，对柱面镜的共焦位置进行零位检测，得到检测结果W2，最后移去柱面镜，CGH补偿器前后翻转恢复初始位置，将标准平面反射镜置于柱面测试波的焦线位置进行检测，得到检测结果W3，通过计算得到柱面镜的CGH补偿面形误差绝对检验结果。本发明的方法通过三个检验位置完全分离出CGH补偿器引入的面形误差，获得柱面镜的CGH补偿绝对检验结果，具有操作简易和精度高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 柱面 cgh 补偿 绝对 检验 方法 | ||
【主权项】：
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