[发明专利]一种半导体晶圆测试探针台在审
| 申请号： | 202210062853.2 | 申请日： | 2022-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN114384283A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 李超翰;谢建平;袁超 | 申请（专利权）人： | 浙江光特科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司： | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人： | 李杰 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体晶圆测试探针台，包括：底座；第一吸气机构、第二吸气机构；支撑件，其上设有多个第一吸气孔、多个第二吸气孔；其中，多个所述第一吸气孔沿第一圆周间隔分布，多个所述第一吸气孔与所述第一吸气机构连通；多个所述第二吸气孔沿第二圆周间隔分布，多个所述第二吸气孔与所述第二吸气机构连通，多个所述第二吸气孔位于多个所述第一吸气孔的内侧；移动机构，设置于所述底座上，能够带动所述支撑件在水平、竖直方向移动；探针，布置于所述支撑件的上方。利用第一吸气机构、第二吸气机构吸气，在第一进气孔、第二进气孔产生负压，吸附晶圆。当晶圆尺寸较小时，利用第二吸气机构吸气，在第二进气孔产生负压，吸附晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 测试 探针 | ||
【主权项】：
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