[发明专利]谐振器及其制备方法、滤波器有效
| 申请号： | 202210067464.9 | 申请日： | 2022-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN114421910B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 罗天成;蔡耀;高超;邹杨;林炳辉;龙开祥;孙博文;孙成亮 | 申请（专利权）人： | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种谐振器及其制备方法、滤波器，涉及谐振器技术领域。该制备方法包括：在第一衬底上形成压电层、第一电极层和第一键合层；对第一键合层进行图案化以形成第一键合环、第二键合环和第三键合环；并刻蚀露出的第一电极层以形成第一窗口；在第二衬底上形成第一支撑层和第二键合层；对第二键合层进行图案化以形成第四键合环和第五键合环；并刻蚀露出的第一支撑层以形成第二窗口和第三窗口，得到位于第三窗口和第二窗口之间的边界环；将第三键合环和第五键合环键合、第二键合环和第四键合环键合得到谐振器的空腔结构；去除第一衬底，并在压电层上形成第二电极层。该制备方法通过封装键合工艺实现边界环的制备，其制备工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 及其 制备 方法 滤波器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉敏声新技术有限公司，未经武汉敏声新技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210067464.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高精度振荡器
- 下一篇：一种攻击处理方法、系统、网络安全设备及存储介质
