[发明专利]一种使用太赫兹光谱与成像检测流水线上物体的系统有效
申请号: | 202210074299.X | 申请日: | 2022-01-21 |
公开(公告)号: | CN114460032B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 杨旻蔚 | 申请(专利权)人: | 华太极光光电技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/3586 | 分类号: | G01N21/3586;G01N21/59;G01N21/84 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 沈栋栋 |
地址: | 200433 上海市杨浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开一种使用太赫兹光谱与成像检测流水线上物体的系统,涉及物体内部的检测系统,包括:太赫兹准直系统、太赫兹分光系统、太赫兹成像系统、位置检测系统和控制系统,经辐射源产生的太赫兹波进入准直器件准直后,再由缩束器件进行缩束,缩束后的太赫兹波进入分光器件内,并形成若干具有不同频率的衍射太赫兹波,每一衍射太赫兹波再由线聚焦器件进行线聚焦并形成太赫兹线束,每一太赫兹光束均垂直投射于成像器件上,并由太赫兹相机成像。本发明通过控制相机采样间隔和被检物体的运动速度,可以使得各个位置的光谱信息不会发生错位,保证了检测的精确性。 | ||
搜索关键词: | 一种 使用 赫兹 光谱 成像 检测 流水 线上 物体 系统 | ||
【主权项】:
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