[发明专利]真空冷喷涂系统在审
| 申请号： | 202210078795.2 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114481114A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 卢静;吴应东;解路;李挺;孙澄川;但幸东;汤烈明;路腾;陈东 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 孟洁 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空冷喷涂系统，包括送粉器、连接于压缩气源的气体控制单元、连接于送粉器和气体控制单元的真空沉积室、设置于真空沉积室内的喷涂管以及连接于真空沉积室的真空排气单元。其中，气体控制单元用于调节进入真空沉积室的喷涂气体压力及流量，喷涂管用于在真空沉积室内进行真空喷涂作业，送粉器用于为真空喷涂作业提供喷涂粉末，真空排气单元用于抽取真空沉积室内真空喷涂作业后的喷涂气体，以使得真空沉积室以一定真空度维持动态真空状态，系统内喷涂用气流量和真空排气流量一致，从而使得真空冷喷涂系统在真空冷喷涂过程中始终维持真空动态平衡。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 喷涂 系统 | ||
【主权项】：
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