[发明专利]单片式面弯曲模双耦合五叉臂石英音叉真空敏感谐振器在审
| 申请号： | 202210081355.2 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114421921A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 林金秋;初思博;周烨;初奇伟;周佳辉;林江 | 申请（专利权）人： | 常州奇军苑电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/215 | 分类号： | H03H9/215;H03H3/02;H03H9/10;G01L21/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空传感技术领域，且公开了一种单片式面弯曲模双耦合五叉臂石英音叉真空敏感谐振器，由五叉臂面弯曲模石英音叉谐振器片、石英真空敏感谐振器管座和石英音叉真空敏感谐振器抗污防潮过滤帽构成，所述五叉臂面弯曲模石英音叉谐振器片置于所述石英真空敏感谐振器管座和所述石英音叉真空敏感谐振器抗污防潮过滤帽所构成的真空敏感谐振器封装部件内，(yxtl)‑24°～‑50°/5°～15°切型石英晶体颇适宜面弯曲模的单片型双开端五叉臂石英音叉真空敏感谐振器以及面弯曲模的单片型双组开端‑闭端的五叉臂石英音叉真空敏感谐振器使用，其温度稳定性远优于现在的单闭端石英音叉式和双闭端石英音叉谐振器。 | ||
| 搜索关键词： | 单片 弯曲 耦合 五叉臂 石英 音叉 真空 敏感 谐振器 | ||
【主权项】：
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