[发明专利]一种193nm分子玻璃光刻胶及其制备方法在审
| 申请号： | 202210082478.8 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114721221A | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 曾伟 | 申请（专利权）人： | 南通林格橡塑制品有限公司;连云港百利合新材料发展有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 连云港中联润智专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 32572 | 代理人： | 严敏 |
| 地址： | 226661 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种193nm分子玻璃光刻胶及其制备方法，属于半导体微电子化学技术领域。所述193nm分子玻璃光刻胶含有星型分子玻璃成膜树脂、光致产酸剂（PAG）和可降解碱（PDB）。所述星型分子玻璃成膜树脂是式（Ⅰ）所示，以金刚烷为核，三个胆酸衍生物为支链的星型单分子树脂。本发明的星型分子玻璃成膜树脂分子量单一，玻璃化温度（Tg）高；以该成膜树脂配合光致产酸剂（PAG）和光可降解碱（PDB）所制得的193nm正型光刻胶可以满足大规模集成电路的光刻工艺要求。另外本发明所采用的核心原料金刚烷以及胆酸衍生物均源于国产，可以从源头上彻底解决半导体光刻胶及其原料的卡脖子问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 193 nm 分子 玻璃 光刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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