[发明专利]一种深紫外的显微镜成像物镜在审
| 申请号： | 202210084790.0 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114442300A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 伍强;李艳丽;刘显和 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G02B21/02 | 分类号： | G02B21/02;G02B21/16;G02B13/00;G02B1/11 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 王洁平 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种深紫外的显微镜成像物镜；其与筒镜协同工作；其等效数值孔径为0.75~0.85，工作波长为190~200 nm，等效焦距为3‑8mm，放大率为100‑200倍；其由沿着光轴顺序排列的6片球面镜片组成：第一镜片、第二镜片、第三镜片、第四镜片、第五镜片和第六镜片，其中第一镜片、第三镜片、第四镜片和第五镜片为正透镜，第二镜片和第四镜片为负透镜；与其协同工作的筒镜包含3片物镜；本发明的物镜可以应用于半导体集成电路带图形硅片的缺陷检测，其检测缺陷的分辨率可以达到58~64纳米或者更小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 深紫 显微镜 成像 物镜 | ||
【主权项】：
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